中古 SHINCRON RAS-1100C #293807624 を販売中
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SHINCRON RAS-1100Cは、さまざまな基板上にフォトレジストを開発するために設計された、高性能で軽い露光装置です。このシステムは、複雑なフォトレジストパターンの正確かつ効率的な露出を可能にするさまざまな機能を備えています。RAS-1100Cは、1次元および2次元スキャン位置の両方が可能な355 nm UVレーザーを搭載しています。このユニットは、デジタルリニアエンコーダのおかげで良好な分解能を備えており、高精度のタスクに適しています。さらに、強力なレーザーは、+/-2ミルの線幅変動で最大200milの幅の露出を可能にします。さらに、SHINCRON RAS-1100Cの統合ビジョンマシンは、複雑なパターンが正確に複製されるようにします。RAS-1100Cは、光の露出中に基材が露出したり歪んだりするのを防ぐように設計されています。このツールには、調整可能なシャッター長を使用して露出時間を制御し、光の露出による歪みを最小限に抑える効果的なライトシャッターアセットが装備されています。さらに、SHINCRON RAS-1100Cの統合ウエハハンドリングモデルは、最大6つの25mm径ウエハーをクロスコンタミネーションなしで同時に移動できます。この装置は、自動ローディングとアンロード機能を取り外すことで、少量露出にも使用できます。また、このシステムはセットアップと操作が簡単です。それはユーザーフレンドリーなコンソールを持っており、その機能を理解するために最小限のトレーニングを必要とします。コンソールには、将来の参照用にプログラムして保存できるさまざまなパラメータも表示されます。SHINCRONは、お客様のRAS-1100Cユニットのメンテナンスと修理を支援するため、様々なサポートオプションを提供しています。それは地域および国際的な修理サービス、部品の交換および技術的な助言を両方提供します。それにまた機械をセットアップし、作動させる方法の詳細情報を提供するオンラインユーザーマニュアルがあります。全体的に、SHINCRON RAS-1100Cは、異なる基板上のフォトレジストを開発するための信頼性の高い効率的なツールです。その方向シャッターアセットとウェーハハンドリング機能により、複雑なフォトレジストパターンを正確に開発し、露出することができます。したがって、このモデルは、プロジェクトに正確で明瞭でない光の露出を必要とする人に理想的です。
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