中古 SHINCRON RAS-1100BD #9215777 を販売中
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SHINCRON RAS-1100BDは、大型フラット基板を迅速かつ正確に精密にコーティングするために設計された最先端のフォトレジスト機器です。基板に超低歪みコーティングが可能な高精度リニアステージユニットを採用。機械は自動的に基板の表面曲率を検出し、領域上の膜厚を変調します。RAS-1100BDは高度な水晶シャッターハイナンバーアパーチャ(HNA)投影ツールを搭載しており、照明の焦点角度を正確に調整することができます。また、高速移動時でもコーティング精度を維持できる超高速動作補正モデルを搭載しています。装置にはフォトレジストのミスティング用のチャンバーも付属しており、ほこりや汚れがシステムに侵入するのを防ぎます。チャンバーにはダストコントロールユニットがあり、長時間の露出でも粒子が機械に侵入するのを防ぎます。正確なコーティング結果を得るために、基板の位置、動きの変化、実際のコーティング結果を記録するデータロギングツールをRAS-1100BDに搭載しています。このアセットには、ピーク電圧や厚さ制御など、いくつかの安全機能が組み込まれているため、プロセスは正確かつ安全に実行されます。信頼できる、一貫した結果を保障するためには、RAS-1100BDは独特なフィルム張力検出および制御モデルを利用します。本装置は、要求されるフィルム張力を電子的に設定し、抵抗を適用する際にフィルム張力を監視します。SHINCRONのRAS-1100BDはまた大面積のコーティングに使用することができます。プログラマブルディスペンサーは、コーティングサイズを変更しても基板全体に均一なコーティングを保証します。システムには、プログラム可能なプリセットコーティング重量とテンション設定もあります。RAS-1100BDは、あらゆる環境で正確で信頼性の高いコーティングを提供するように設計された高度なフォトレジストユニットです。高度な機能と堅牢なプログラミングにより、機械を使用して大きなフラット基板を迅速かつ正確にコーティングできます。このツールは、厳しい公差と一貫した結果を必要とする高精度アプリケーションに最適なソリューションです。
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