中古 SHINCRON BIS-1300CNN #9263768 を販売中

製造業者
SHINCRON
モデル
BIS-1300CNN
ID: 9263768
ヴィンテージ: 2008
Vacuum coater (2) Cryo pumps (2) EB Sources JEOL 270 Substrate heating Crystal thickness monitor Optical thickness monitor: OPM-Z1 RF Ion source: NIS-175 2008 vintage.
SHINCRON BIS-1300CNNは、現代のウェーハ加工機器に優れたエッチプロファイル制御を提供する精密フォトレジスト装置です。この高度なシステムは、ケミカルとレーザーレジストの両方の処理能力を備えており、ユーザーは単一のユニットでさまざまなウエハータイプを処理する柔軟性を提供します。BIS-1300CNNは、特許取得済みの非接触噴霧法を使用して、薄膜トランジスタ(TFT)、シリコンウェーハ、およびその他の関連基板材料など、さまざまな基板にフォトレジストコーティングを正確に適用します。この非接触プロセスは、一貫したエッチプロファイルと優れたフォトレジスト接着のための均一な表面コーティングを提供します。このマシンはまた、溶液スプレー圧力の精密な制御を提供し、反復可能なリソグラフィとエッチング結果を可能にします。高度なフォトレジストシステムは、ユーザー固有の要件に合わせてコーティングを最適化するために簡単に調整できるさまざまなプロセスパラメータを備えています。例えば、オペレータは、外部加熱、材料フロー、溶液スプレーパラメータ、基板温度、分配幅などの変数を調整して、所望の処理結果を得ることができます。さらに、ベンダーが提供するソフトウェアにより、リアルタイムのプロセス監視と制御が可能になり、不要なダウンタイムが削減されます。SHINCRON BIS-1300CNNには、ツールのコアコンポーネントとソフトウェアを収納するスマートに設計されたキャビネットが付属しています。コンパクトな設計により、中断を最小限に抑えて既存のクリーンルーム環境に統合できます。このアセットには、ユーザーが繰り返し可能な国際的な結果を達成できるさまざまな自動化機能も含まれています。これらには、自動加圧ローディング、柔軟なデュアルチャンネルタイミング、自己再生磁気フィルター装置を備えた動的容器モデルが含まれます。フォトレジストシステムBIS-1300CNN、信頼性の高い効率的なウェーハ処理プラットフォームを提供します。プロセス設定はシンプルで簡単で、統合された機能により、ユーザーは最適な処理のためにパラメータを簡単に制御および調整できます。高度な性能と洗練された機能を備えたSHINCRON BIS-1300CNNは、現代のウェーハ処理ニーズに最適です。
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