中古 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293662196 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293662196
ヴィンテージ: 2006
Spin processor
Filter fan unit
CO2 Gas supply
Robot
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 4300は、半導体ウェーハ上にサブミクロンパターンを作成するために特別に設計されたフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィーから始まる2段階のプロセスで、フォトリソグラフィーの薄い層で覆われた半導体ウェーハに光を集中させます。このプロセスは表面に露出した領域のパターンを作成し、ウェーハの基板に開発およびエッチングすることができます。プロセスの第2段階、Post Exposure Bake （PEB）として知られています、ウェーハ上の永久的なパターンの形成を容易にするために熱を使用しています。SEZ 4300は、半導体ウェーハ上のフォトレジストを正確に露出させるための高度な光学ユニットを備えた完全自動システムです。フォトリソグラフィに高解像度のレチクルを使用して、回路要素の非常に正確なパターンを確保します。また、開発したレジストパターンの表面コントラストを改善するために酸素の侵入を最小限に抑えるユニークな通気装置を備えています。LAM RESEARCH 4300は、マスク製造、光電子デバイス、マイクロエレクトロニクス加工などの高精度アプリケーション向けに設計されています。フォトレジスト、開発、エッチング工程において、ウェハの均一性を確保するために最新の技術と統計プロセス制御を備えています。また、操作が簡単なユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。4300は、半導体製造に使用するために設計された強力なフォトレジストツールです。高精度なパターニング、開発したレジストパターンの優れた表面コントラスト、簡単な操作のための簡素化されたユーザーインターフェイスを提供します。このフォトレジスト資産は、半導体製品の複雑で高度な設計を作成する上で不可欠なツールです。
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