中古 SEMIX TR 6133UD #9250101 を販売中

SEMIX TR 6133UDは、マイクロエレクトロニクス業界向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、超微細線幅に対する需要の高まりに対応するために開発されたもので、フィーチャーラインを0。3ミクロンまで加工することができます。主な処理モジュールは、スプレーユニット、PADプロセッサ、E-Beam （e-beam）モジュールです。スプレーヤユニットは、基板にフォトレジストを迅速かつ正確に適用するように設計されています。これは、6軸ロボットアームによって作成された平行ビームを利用して行われます。回転ステージはスプレーヤー上に基板を正確に配置するために使用され、加熱ノズルはフォトレジストの均一で均一な層を基板に適用します。基板加工時の高分解能化を実現します。PADプロセッサは、プロセスパラメータの制御を担当します。基板を正確に処理するために、フォトレジストの組成と正確な露光パラメータを設定することができます。PADプロセッサの利点の1つは、幅広いフォトレジストで使用できることです。さらに、PADプロセッサを使用すると、さまざまな基板のパラメータを素早く調整できます。E-Beamモジュールは、PADプロセッサと組み合わせてフォトレジストを正確に露出するように設計されています。強力な電子ビームを使用して、基板を処理する際に均一なフィーチャーラインを実現し、高分解能を提供します。E-Beamモジュールには、基板をパターン化するときに小さな機能を自動的にズームインする機能もあります。全体として、TR 6133UDはマイクロエレクトロニクス業界向けの強力なフォトレジストユニットです。スプレーヤー、PADプロセッサ、Eビームモジュールを組み合わせて、効果的に基板を処理します。この機械は高い分解能と精度を提供し、フィーチャーラインを0。3ミクロンまで処理するように設計されています。最高のフォトレジスト機能をお探しの方に最適です。