中古 SEMIX TR 6133UD #9226635 を販売中

SEMIX TR 6133UD
製造業者
SEMIX
モデル
TR 6133UD
ID: 9226635
ウェーハサイズ: 6"
SOG Coater, 6".
SEMIX TR 6133UDは、小型の電子、機械、半導体デバイスの機能や部品を高精度かつ高精度に直接リソグラフィ画像化するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、サブミクロンとナノメートルレベルの両方で高分解能イメージングが可能です。ウェーハプレートは、接触レベルの表面イメージングを最大化する機能を備えており、非常に正確な結果を得ることができます。TR 6133UDユニットは、独自のフォトレジストコーティングを採用し、高精度のダイレクトリソグラフィーイメージングを可能にします。このコーティングは、ライン幅の変化、正確なライン、信頼性の高い再現性の高い露出を最小限に抑えるように特別に設計されています。さらに、コーティングは、水、化学薬品、およびプロセス精度を妨げる可能性のあるその他の液体汚染物質に対して耐性があります。フォトレジストコーティングとともに、多くの独自技術を駆使して最大限の印刷精度を実現しています。これらには、特殊なレンズ設計を備えた高精度の光学ツール、高度な光学アライメント技術、フォトレジスト層を配置するための厳格なオートメーションが含まれます。SEMIX TR 6133UDアセットは、さまざまなフォトレジスト構成をサポートしているため、ユーザーは特定のデバイス要件に合わせてイメージングプロセスをカスタマイズできます。これには、熱、紫外線(UV)、深紫外線(DUV)など、さまざまな種類の照明源が含まれます。さらに、高解像度の熱絶縁ミニステッピングモータを搭載し、サーマルドリフトを最小限に抑えます。さらに、TR 6133UD装置は、統合されたアライメントマーク認識システムで設計されています。このユニットは、高精度の光学サブマシンを使用して、アライメントマークなどの特徴を正確に測定および識別し、ウェーハプレート全体にわたって複数の露出を正確にアライメントすることができます。SEMIX TR 6133UDツールは、信頼性の高い動作を保証するために、極めて高品質な制御資産によってサポートされています。このモデルには、適応時間と温度制御、自動レチクル位置決め、高解像度イメージング機能などの機能が含まれています。TR 6133UDフォトレジスト装置は、卓越した精度と再現性を提供し、ユーザーは優れた解像度と忠実度で非常に正確な微細構造およびナノ構造イメージングを生成することができます。その最適化されたイメージング性能と統合制御システムにより、最も要求の厳しいイメージングアプリケーションにおいて、ユーザーは確実に高品質の結果を出すことができます。
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