中古 SEMIX TR 6132U #293619553 を販売中

SEMIX TR 6132U
製造業者
SEMIX
モデル
TR 6132U
ID: 293619553
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1999
SOG Coater, 6" 1999 vintage.
SEMIX TR 6132Uは、先進的なフォトリソグラフィ製造スイートで使用するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。幅広いFABおよびIC処理アプリケーションにターゲットを絞った幅広い露光機能を提供します。TR 6132Uは254nm Mercury Short Arcランプを使用しており、広範囲の波長にわたって高輝度の照明を提供するように設計されています。これにより、さまざまなフォトレジストのスループットレベルの精度調整が可能になります。また、専用のクローズドループ集光ユニットを備えており、基板ごとに最適な集光ビームを確保することができます。さらに、このマシンにはユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、さまざまなフォトレジスト露出レシピを実行するために素早く簡単にプログラムすることができます。また、さらにプログラム可能な制御のためにPCにリンクすることもできます。さらに、SEMIX TR 6132Uにはコントロールパネルに組み込まれた多数の安全機能が搭載されており、過剰暴露、電気ショックなどの危険な状態が最小限に抑えられ、操作前に対処できます。このツールはまた、正確なステップと繰り返し動作が可能であり、幅広い作業フィールドのサイズ内で正確な精度を得ることができます。また、さまざまな解像度で複数のフォトレジストを露出することもできます。最後に、TR 6132Uは取付け、維持し、そして作動すること容易であるように設計されています。堅牢なステッピングモータ駆動アセットと、長寿命を保証するセラミック発熱体を備えています。このモデルは、追加の安全対策なしにクラス1とクラス2の両方の安全環境で動作するように設計されています。結論として、SEMIX TR 6132Uは、FABおよびIC処理アプリケーション向けに設計された堅牢で信頼性の高い高性能フォトレジスト装置です。高解像度、高度な露光機能、幅広い安全機能を備えており、安心して操作できます。
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