中古 SEMIX / TOK TR 8171UD #131515 を販売中

ID: 131515
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Spin on Glass deposition system, 8" Parts system (10) circuit boards Part number: 900140062 ER 81078 V.1.01 (1/2) (2/2) TAZMO Options: Temperature & humidity (coat unit) Solvent system with remote cabinet Exhaust, fume bake plates Post Bake Station 3 light status pole SECS II software De-installed 2001 Currently de-installed 1999 vintage.
SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UDは、さまざまな高度なリソグラフィ作業用に設計された高性能フォトレジスト装置です。システムには、全自動の高解像度イメージングユニットとフルサイズの露光プロセッサが含まれています。高度なフォトレジストマシンは、高度な画像露出制御ツールと露出処理機能により、サブミクロン分解能を実現しています。SEMSIXTOK TR 8171UDは、自動化された制御資産と大容量の情報容量と相まって、優れた精度と再現性を提供します。SEMSIXSEMIX TR 8171UDは、露光システム用のマイクロステッピングモータ駆動と画像処理用レンズを搭載し、0。5〜10 µmの範囲で幅広い露光精度をサポートします。マイクロステッピングモータードライブは、正確な速度と加速制御が可能で、高速と精度を必要とするリトグラファーに最適です。さらに、このモデルでは、可能な限り最高の解像度を達成するための画質調整ツールを装備した多数のイメージングコラムも選択できます。さらに、最も一般的に使用されている多くのフォトレジストタイプとの互換性を提供し、ガラス、シリコン、酸化ケイ素などの幅広い基板に使用することができます。SEMSIXTR 8171UDは、ユーザーエクスペリエンスを簡素化し、ユーザーがユニットの機能に簡単かつ迅速にアクセスして制御できる直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、複数のキャリブレーション機能と、イメージデータ、フィルム、基板データを保存できる内部メモリーストアを備えており、イメージング、露出、処理手順を最適化できます。最終的に、SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UDは、高精度、高解像度、再現性を備えた高度なリソグラフィーソリューションを提供する信頼性と汎用性の高いフォトレジストツールです。この資産は非常に効率的で生産性が高く、半導体製造に伴う市場投入までの時間とコストを削減するのに役立ちます。
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