中古 SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096 を販売中

SEMIX/TOK TR 6132UDは、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス部品の基板など、さまざまな材料に精密な薄膜パターニングとコーティングを提供するために設計されたフォトレジスト装置です。半導体デバイス処理、MEMS製造、EMIシールドなど、細線幅の分解能が必要な用途に適しています。光源、光学、ステージ制御、フォトレジストプロセスを一体化した装置です。LED光源は、フルウェーハスワット上に均一な拡散光を提供し、短波長と長波長の両方のコンポーネントを同時に生成することができ、幅広いフォトレジストの露出を可能にします。高い数値目標は、関連する+/-5ミクロンの解像度で、10ミクロン以下の非常に高解像度のイメージングを提供します。ステージコントロールツールは、ウェーハテーブルの位置と速度を監視し、プロセスの露出ステップごとにウェーハを正確かつ再現可能に位置決めします。このアセットは、フォトレジストの正確な露出レベルを確保するために温度制御されており、ウェーハ全体にわたって正確なパターニングと均一な膜厚を可能にします。このモデルは、0〜4000RPMの速度範囲で、ウェーハ全体にフォトレジストを均一に広げる精密なウェーハスピンプロセスを採用しています。薄膜パターンの品質は優れており、小さなパターンを認識するための優れたプロセス能力を備えています。最後に、装置には、プロセスの各ステップの露出パラメータを監視および記録する高度なソフトウェアが装備されており、プロセス履歴の追跡が可能です。全体として、TOK TR 6132UDは精密なパターニング機能を備えた信頼性の高いシステムを提供し、さまざまな材料に一貫した正確な薄膜コーティングを作成することができます。統合されたLED光源、高解像度光学、ステージ制御、およびウェハスピンにより、ユニットは、要求の厳しい薄膜マイクロエレクトロニクス用途に最高品質のパターニングと最高のプロセス制御を提供するために装備されています。