中古 SEMIX / TOK TR 6132U #57578 を販売中

製造業者
SEMIX / TOK
モデル
TR 6132U
ID: 57578
ウェーハサイズ: 4"
Spin On Glass (SOG) Coater, 4" One coating station (3) Hot plates Dual senders & receivers U-Turn configuration Dry air: PS, 1/4" Female, 4 to 7kgs / cm², 250 Nl / min Cooling water: 20 A Vp, 1kg / cm², 10 l / min DI Water: 20 A Vp, 2kgs / cm², 15 l / min Temperature control range : 40°C - 70°C Nozzle: Flat-type (PVC MVP-9010), cone-type EX-424 Rinsing time: 100 - 300 Seconds Constant temperature reservoir: 10l Maximum 40°C - 70°C Power supply: 200 VAC, Single phase, 18 Amps.
SEMIX/TOK TR 6132Uは、半導体材料産業のリーディングテクノロジー企業であるTOKが開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトリソグラフィーマスクおよび半導体デバイスの製造に使用されます。このユニットは、高度なフォトリソグラフィープロセスを使用して、半導体材料を正確にパターン化します。統合された写真シミュレータと複数の露出パラメータが付属しており、基板上に複雑なパターンを作成するプロセスを簡素化します。さらに、前露と後露光からなる2段階のイメージングプロセスも含まれています。前露は基板全体のパターンの均一性を確保するのに役立ちますが、後露光はパターンを洗練し、所望の寸法を修正するのに役立ちます。このマシンにはデジタル画像処理ツールが内蔵されており、ユーザーはパターン印刷プロセスに影響を与えるさまざまなパラメータを調整できます。これらのパラメータには、露出ファセットの向き、パターンサイズ、アライメント精度、画像定義が含まれます。このアセットには、自動基板負荷/アンロード機構と高精度のロボット位置決めモデルが付属しており、正確なパターン印刷プロセスを保証します。機器のユーザーインターフェイスは非常にユーザーフレンドリーであり、ユーザーは簡単にパラメータを調整することができます。また、ユーザーがパターン印刷プロセスの進行を継続的に監視できるように、リアルタイム監視システムも含まれています。このユニットには、ユーザーがパターン印刷プロセスを最適化および編集できるソフトウェアプログラムが付属しています。また、TOK TR 6132Uは、高い成功率で高品質のパターンを生成することができる効率的なマシンです。さらに、印刷プロセス中に基板から望ましくない残留物を除去するのに役立つ自動クリーニングツールが装備されています。最後に、この資産は、IEC 60601、 ISO 10605、およびUL 60950などのさまざまな国際規格にも準拠しています。これにより、このモデルは、医療、航空宇宙、通信技術など、幅広い業界で安全に使用できるようになります。
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