中古 SEMIX / TOK / TAZMO SOG #9097200 を販売中

SEMIX/TOK/TAZMO SOGは、旭硝子が開発した専用フォトレジストシステムです。Ltd。（株）様々な電子デバイスや半導体デバイスの製造プロセスにおいて、超微細線パターンを生成するために使用されます。このシステムは、4ポジションタイプの露出ユニット、微細露出制御用のソルバー、および後処理ツールの3つのコアコンポーネントで構成されています。4ポジションタイプの露出ユニットは、露出エリアごとに露出時間、焦点、強度を最適化するように設計されています。0。75 μ mの細線パターン幅まで幅広いレジスト素材に露出することができます。ソルバーは最適化された光学モデルを使用して、最大限の露光制御精度と再現性を実現します。これにより、解像度と再現可能なパターンパラメータが向上します。ポストプロセッシングツールは、ラインパターニングパラメータを設定し、露出時間を調整してラインパターンを微調整し、解像度に抵抗するために使用されます。TOK SOGシステムは従来のフォトリソグラフィーシステムとは異なり、微細なラインパターニングと高解像度を実現するための処理時間が短くなります。薄型レジストと超微細ラインパターニング分解能により、パターン密度の向上と設計の柔軟性を実現します。また、解像度と再現性が向上し、パターン精度が向上し、歩留まりが向上しました。SEMIX SOGは、プリント基板、半導体製造、医療機器製造などの超微細ラインパターニング用途に最適です。解像度と効率が向上しているため、加工時間を短縮し、生産プロセスの歩留まりを向上させることができます。