中古 SEMIX / TOK CSH 8121D #158244 を販売中

SEMIX/TOK CSH 8121Dは、半導体デバイスの製造用に設計された専用フォトレジスト装置です。長短パルス露光ユニット、マスクアライナー、基板プロセッサで構成されています。このシステムは、配線、相互接続、およびその他の高度な半導体プロセスなど、さまざまなアプリケーションで使用されています。TOK CSH 8121Dのロングパルス露光ユニットは、基板の表面をサブミクロンレベルに正確にパターン化することができます。レーザー露光技術を使用して、最大10ミクロンの解像度でウェーハ上のフォトレジスト材料を正確に露光します。レーザーのパルス幅は露出される材料および望ましい結果によって調節することができます。マスクアライナーは、非接触マスク登録技術を使用して、基板上の材料の層を正確に整列させることができます。これは、リアルタイムの観察とフィードバックを提供する自動組込みイメージングユニットが装備されています。このマシンはまた、プロセス全体にわたって高精度なアライメントを提供します。SEMIX CSH 8121Dの基板プロセッサは、誘電体レーザーアブレーションを使用してウェーハにフォトレジスト材料を適用する完全自動化されたソリューションです。このプロセッサは、マスクおよびパターンベースのフォトレジスト蒸着が可能であり、紫外線硬化フォトレジストを分配するように構成することもできます。バッチまたは連続操作には、さまざまなディスペンスフォーマットを使用できます。これらのコンポーネントはすべて自動化されたツールに統合されており、複雑な半導体デバイスの高速かつコスト効率の高い生産を提供します。アセットは柔軟で安定した信頼性があり、異なる種類のプロセスのための2000以上の異なるレシピのライブラリによってサポートされています。これにより、半導体メーカーは、一貫して迅速に幅広いデバイスを作成することができます。全体として、CSH 8121Dは、高度な半導体デバイスの製造において優れた精度と信頼性を提供するように設計された汎用性と信頼性の高いフォトレジストモデルです。使いやすく、ほぼすべてのアプリケーションに合わせて設定できます。その結果、信頼性の高いフォトレジスト機器を探しているメーカーにとって理想的な選択肢です。