中古 SEMIX / TAZMO TR 8152 #9277677 を販売中
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ID: 9277677
ウェーハサイズ: 6"
System, 6"
Process: SOG Deposition
Chemical: SOG, IPA
Coat module
Robot
(6) Hard bakes
Canister IPA
Condizioner
Computer / Display.
SEMIX/TAZMO TR 8152フォトレジスト装置は、シリコンウェーハの製造において最も複雑なエッチングおよびリソグラフィのニーズに対応するために設計された、信頼性の高い汎用性の高いツールです。自動化された高精度プロセスを備えたこのシステムは、エレクトロニクス業界向けの最先端の半導体デバイスを確実に作成するための幅広い機能と機能を提供します。このユニットには、自動プロセスコントローラと組み合わせた光学部品が含まれています。光学ステージには、LED光源、光ファイババンドル照明、フルフレームCCDカメラ、およびリソグラフィックマスク処理機があります。自動化されたプロセスコントローラは、操作中にツールパラメータを監視、調整、および制御することにより、エッチングおよびリソグラフィープロセスを最適化するのに役立ちます。このアセットには、強力なユーザーフレンドリーなインターフェイスプログラムも含まれており、ユーザーはレシピを保存し、あらゆる種類の材料構造のエッチングプロセスを最適化できます。これにより、顧客の要求に基づいてモデルをセットアップして操作することが容易になります。SEMIX TR 8152 Photoresist Equipmentはまた、分散を識別し補償することができる統合ビジョンシステムを備えており、高精度の結果が得られます。また、高速スピンコーターを搭載し、垂直方向と水平方向の両方でフォトレジストをスピンコートすることができ、基板上にフォトレジストを正確に堆積させ、フォトレジストの均一性と厚さを制御することができます。また、ウェーハを均一に一貫性と信頼性の高い結果をエッチングする低温プラズマエッチング装置を提供します。TAZMO TR8152 Photoresist Toolは、最高品質の結果と安全で信頼性の高い操作を保証するために、幅広い高度なプロセス制御機能を提供します。この資産は、トラブルのない運用のために設計および検証されており、汚染やその他の危険な状況から保護するためのいくつかの環境保護措置を備えています。SEMIX/TAZMO TR8152 Photoresist Modelは、生産プロセスにおいて最高レベルの品質と精度を求める企業にとって理想的なソリューションです。高精度のフォトリソグラフィとエッチングプロセスの信頼性の高いソースを提供するだけでなく、その高度な機能は、アプリケーションに非常に特定の複雑な成分を必要とするお客様に最適です。生産された結果は、最高品質であり、特定の顧客の要求を満たすために簡単に最適化することができます。
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