中古 SEMITOOL WST-506MG #9265376 を販売中

SEMITOOL WST-506MG
製造業者
SEMITOOL
モデル
WST-506MG
ID: 9265376
ウェーハサイズ: 6"
Wet solvent strippers, 6".
SEMITOOL WST-506MGフォトレジスト装置は、高精度コーティング用途の基板にフォトレジスト層を堆積するために使用される信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いスピンコーターです。WST-506MGはLangmuir-Blodgettマイクロメーターと精密基板スピンコーティングのための回転ステーションを備えています。また、コーティング速度を正確かつ再現的に制御するための3段階コントローラを内蔵しています。このユニットは、ウェーハハンドリングが容易で安全なウェーハハンドリング、デュアルスピードギアボックス、広径範囲の標準機能を備えており、小型から大型基板の正確なコーティングが可能です。基板ローダーは、回転する前に基板上のレジストを手動で分配するために使用され、高速で均一なコーティングが可能です。モーターはブラシレスDCモーターであり、軸受には高トルク軸スラスト軸受が取り付けられており、安定した精度でスムーズで安定した動作を保証します。このマシンはまた、ユーザーが複数のコーティングプロファイルを選択し、プロファイルを保存し、効率的なサイクルタイムのためにツールをプログラムすることができる精密ソフトウェアスイートを備えています。さらに、SEMITOOL WST-506MGには、フードを開けた場合にアセットをシャットオフするインターロック回路や緊急停止ボタンなど、複数の安全機能があります。ダブルパターニングリソグラフィ(DPL)スピンコーティング、コンフォーマルコーティング、厚膜スピンコーティングに優れたWST-506MGです。このモデルは、S1827、 S1813、 S1805、その他の独自のレジストなど、さまざまなレジスト材料でテストされています。SEMITOOLの結果は、さまざまなコーティング要件における精度と再現性のためのSEMITOOL WST-506MGの高いレベルの保証を実証しました。全体として、WST-506MGフォトレジスト装置は、幅広いスピンコーティング用途に最適です。その厳格な安全プロトコル、競争力のある価格、および信頼性の高い精度率により、あらゆるコーティング作業において勝利の選択肢となります。
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