中古 SEMITOOL WST-406MG #7441 を販売中

SEMITOOL WST-406MGは、さまざまな半導体加工アプリケーション向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、理想的なサブミクロン線と接触穴パターニング、ならびに大面積ダイの迅速かつ均一なパターニングを可能にするように設計されています。このユニットには、プロセスチャンバー、ヒーター、コントロールユニット、およびソフトウェアが付属しています。プロセスチャンバーは304ステンレス鋼で構成され、引き込み式の石英サセプタードームを備えており、熱勾配を低減します。ヒーターは速い回転および最高力の消滅のための2つの単一管の液浸のヒーターで構成されます。温度は部屋全体の精密な温度調整そして均一な暖房を提供する独立した電子コントローラーによって制御されます。高強度パルスコヒーレントレーザー光源を使用し、フォトレジストの迅速な露出を可能にします。レーザー光源は、機械的にスキャンされたY/Zジンバルガルバノメーターと結合され、正確な露光パターンを提供します。また、独自の高精度アライメントサブシステムを備えており、フォトレジストパターンの高精度な露出を保証します。WST-406MGは、統合された4トラックディスペンスユニットと温度制御された自動スピンドライユニットを備えています。これにより、最高レベルの精度、一貫性、スピードでウェーハ処理を行うことができます。さらに、この資産にはロードロックステーションが装備されており、室内温度にチャンバーを露出することなく、急速な積み下ろしを可能にします。モデルのユーザーインターフェイスは、イーサネットベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）です。これにより、機器の設定、パラメータ、プロセスレシピに便利にアクセスできます。このインターフェースにより、システムのリモート操作も可能になります。SEMITOOL WST-406MGは、半導体加工アプリケーション向けに設計された堅牢で高性能なフォトレジストユニットです。このマシンは、精密なパターニング、正確なアライメントと露出、ならびに高速かつ一貫したウェーハ処理を提供します。統合されたGUIは、ツールの操作をユーザーフレンドリーで便利にします。