中古 SEMITOOL WST-406MG #35587 を販売中
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ID: 35587
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2000
Wet solvent stripper, 4"
Strip photoresist with water soluble based (NMP) strippers
(270) Electropolished bowls: Maximum 6" wafers product
Brushless motor
Fire suppression
No tanks
Remote chemical cabinet
(2) Tanks:
Fresh PRS1000
Reclaim PRS1000
Power: 208VAC, 60 Hz, 30 Amps, 5 Wire
BAKER PRS 1000 Positive photoresist tripper
Accessories:
Chemical delivery module
Dual heated chemical tanks, 6 Gal
Dual chemical pumps
Chemical waste tank with pump
Dual chemical filters
Features:
Front loading with on-axis spin
Self-contained fluid dispensing and recirculation
Surfaces: Stainless steel or Teflon coating
Spray and atomizing manifolds for fluid deliver
Microprocessor controlled process
Rotor installed for 150mm, P/N: A194-60MB-0215
Sub-system: Chemical cabinet
SEMITOOL Graphic controller display screens
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 30 Amps, 3-Phase.
SEMITOOL WST-406MGは、クリーンルーム環境でのウェーハのクリーニング、エッチング、めっきなど、ウェット加工用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。ウェットプロセスの温度、濃度、持続時間を自動フィードバックループで制御することで、ユーザーは再現性のある高品質な結果を得ることができます。WST-406MGは、さまざまなプロセスのニーズに合わせて簡単に構成できるモジュラーユニットです。それは20°Cと80°Cの間の精密で、一貫した温度較差を維持する高度のデジタル暖房および冷却機械による温度調整を特色にします。このツールは、pHメーターと滴定レギュレータでフォトレジスト溶液の濃度を正確に制御することもできます。SEMITOOL WST-406MGには、幅広い自動化されたプロセス制御も備えており、ユーザーは簡単に調整可能な正確なタイムプロセスをプログラムすることができます。この柔軟性により、ユーザーは特定の要件に簡単にアセットを適合させることができます。また、自動シャットオフや流体漏れ検知などの安全機能を統合し、事故を未然に防ぎ、クリーンルーム環境を安全に動作させることができます。WST-406MGは、最大200mmのウェーハ径で、1回の処理サイクルで最大16個のウェーハを実行できる高容量、精密な自動ウェーハ処理装置を備えています。自動化されたハンドリングシステムは、繰り返し可能な結果と最小限のダウンタイムを保証します。SEMITOOL WST-406MGは、データロギング機能を備えたプロセス監視も提供しており、ユーザーはプロセスのパフォーマンスをリアルタイムで記録および分析することができます。この機能は、最終結果のトラブルシューティングと品質向上に不可欠です。全体として、WST-406MGは非常に高品質のフォトレジストウエハを生産することができる高度で柔軟なウェット処理ユニットです。自動化された操作と統合された安全機能により、オペレータの介入が最小限に抑えられ、厳しいクリーンルーム環境での使用に最適です。
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