中古 SEMITOOL WST-308M #9077797 を販売中

SEMITOOL WST-308Mは、集積回路（IC）基板の高スループット処理用に設計された完全自動フォトレジスト装置です。GaAs、 SiC、シリコンウェーハなど、さまざまな基板やウェーハの加工が可能です。それは150オームより大きいの抵抗の1000°Cの最高プロセス温度を達成できます。WST-308Mは、フィルム組成と最適化されたフィルム粗さのユニークな機能を備えており、高速で信頼性が高く正確なプロセスを可能にします。幅広いリトエッチング機能を提供し、単段または多段のフォトリソエッチクラスタで動作できます。このシステムは、SEMITOOLまたはその他の互換性のあるプロセスユニットと互換性のある標準的なジャケットウェーハキャリアを提供します。高度なプロセス制御および監視機能に加えて、SEMITOOL WST-308Mは、最高のスループットを保証する独自の両面ウェハハンドリングマシンで設計されています。このツールは、ウェーハが最初から最後まで安全に処理されるようにするため、各処理ステップで基板を手動で回転させる必要がありません。このアセットには、SEMICATOR Prostatronicソフトウェアも装備されており、リモートプロセスをサポートし、シンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。また、プロセスシミュレーションとプロセス最適化機能を提供し、ユーザーはプロセスを特定の要件に合わせて調整することができます。WST-308Mは、低温処理（LTP）や集積回路（IC）基板、多層金属（MLM）成膜、積層誘電層（SDL）、低温から中程度のIC基板など、幅広いIC基板に使用できます。このモデルは幅広いプロセス機能を提供し、市場で最も先進的なフォトレジストシステムの1つと考えられています。その柔軟性と精度により、IC基板の加工とマスキングに最適です。