中古 SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328 を販売中

SEMITOOL WST-308A1CCBTは、高度な半導体リソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体デバイスの製造に使用される高感度フォトレジストプロセスの高速化、高精度、高収率を実現するために開発されました。シングルウェーハロードロック、ターボ分子ポンプ、デジタル温度コントローラ、完全連動安全装置を備えています。高度な光学アライメントツールを備えており、リソグラフィープロセス用のウェーハの正確で再現性の高い位置決めを保証します。さらに、SEMITOOL WST-308A-1CC-BTはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、ユーザーは個々のレシピを構成し、資産ログデータを管理することができます。安定した安全な環境を確保するために、モデルはまた、2。5 x 10-6 Torrの最大基圧を達成します。フォトレジスト処理に使用する場合、WST-308A1CCBT装置は45°傾斜角度プラットフォームを提供し、静的および動的な力を減らしてより高いスループットを達成するのに役立ちます。統合されたウェーハボートシステムは、シングルウェーハロックで最大8つのウェーハを収容できます。このユニットは、フォトレジスト露光に不可欠な+/-0。5°Cの均一なウェーハ温度を保証する高度なウェーハ温度制御マシンを備えています。このツールはまた、可変フォトレジストレベルと均一性のための調整可能なダイポールとバイポーラチャンバーを備えています。さらに、高速サブシステムは最大1,800°C/minの速度を達成し、すべてのリトサイクルが優れた結果をもたらすことを保証します。WST-308A-1CC-BTはまた、ソフトとハードベークの両方のプロセスを使用することができ、基板タイプに関係なく高いアスペクト比のリソグラフィ実験の結果が信頼性を維持することを保証します。最後に、SEMITOOL WST-308A1CCBTの大型LCDディスプレイ画面により、技術者は資産情報を簡単に表示し、プロセスパラメータを監視できます。全体として、SEMITOOL WST-308A-1CC-BTは、感度の高いフォトレジストプロセスのより速く、より正確で、より高い歩留まりをサポートするように設計された高度なフォトレジストモデルです。高いスループットと堅牢に制御されたリソグラフィーパラメータにより、高度な半導体デバイス製造に最適なソリューションです。