中古 SEMITOOL WST-308 #9356458 を販売中

SEMITOOL WST-308は、超薄線（UTL）リソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、200nm以下の超薄線とスペースの複雑なパターン化を、信頼性の高い、費用対効果の高い方法で可能にします。SEMITOOL WST 308には、UV範囲のフォトマスクの精密露光用の高度な光学系が搭載されています。このユニットには、2波長のUVソースと、NA （Numerical Aperture）が0。49の露出レンズが内蔵されています。これにより、200nm以下の超薄線と200nm以下の空間の複雑なパターンを、優れた精度で露出することができます。露出プロセスはプログラム可能な'レシピ'機械によって制御されます。このツールは、露光強度、線量、解像度などのパラメーターの範囲を定義することができます。これにより、リソグラフィーのバッチからバッチへの一貫した結果と再現性が保証されます。WST-308はまたマスクの点検、プロセス監視および欠陥検出のための高度の計測用具が装備されています。これにより、プロセス内の検証と歩留まりの改善が可能になります。この資産はまた、最適なプロセス条件を迅速に開発するために変更することができるレシピの統合ライブラリを備えています。さらに、モデルは使いやすく、維持するように設計されています。WST 308は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーなプラットフォーム上に構築されています。これにより、レシピライブラリをすばやくナビゲートし、必要に応じてパラメータを調整できます。SEMITOOL WST-308は、超薄線リソグラフィープロセス用に設計された強力で信頼性の高いフォトレジスト機器です。その先進的な光学系、自動化されたレシピシステム、統合された計測ツール、直感的なUIにより、優れた一貫性と再現性を備えた高品質で複雑なパターンを作成するための理想的な選択肢となります。