中古 SEMITOOL WST-308 #9351546 を販売中
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ID: 9351546
Wet solvent stripper
(280) Chambers
Rotor, 8"
(2) Heated tanks
Windows 10 controller.
SEMITOOL WST-308 Photoresist Equipmentは、電子回路などの電子部品のパターンを開発するために使用される化学プロセス・システムです。これは、エレクトロニクス業界の厳しい要件を満たすように設計されています。SEMITOOL WST 308ユニットは、電源、フォトレジストアプリケーションステーション、フォトレジストクックタンク、開発タンク、ストリッピングタンクで構成されています。電源は、マシンに必要な電圧要件WST-308提供します。それは電子プログラム可能なタイマーによって制御される調整された出力流れを提供します。これにより、フォトレジスト材料の適用のために電源を正しい電力レベルに調整することができます。フォトレジストのアプリケーションステーションは、表面に露出するフォトレジストの均一で均一な薄膜を適用するために使用されます。フィルムはフォトレジスト材料の液体溶液から生成されます。コンベヤーベルトは均一な適用のために必要な間隔をウェーハを運びます。フォトレジスト調理タンクは、リソグラフィが行われる前に材料を硬化させるためにフォトレジストを焼くために使用されます。これは、フォトレジストの細かい粒状の均一な層を生成します。ベーキング後、ウェーハは露出のための開発タンクに移動されます。開発タンクはリソグラフィに使用されます。このタンクには、強力な紫外線光源とステップサイズを制御するデジタルステッピングモーターが装備されています。紫外線は、必要なパターンでフォトレジスト層を露出するために使用されます。開発タンクは、一連のパターンでプログラムすることができます。最後に、露出したフォトレジスト層を除去するためにストリッピングタンクが使用されます。ストリッピングタンクはストリッピングソリューションで満たされ、ウェハはタンクに下げられます。ストリッピングプロセスはほんの数秒で、フォトレジスト層は削除されます。WST 308フォトレジストツールは、電子業界で複雑で複雑なパターンを生成するために使用されます。この資産は信頼性が高く、サイクル間のばらつきがほとんどなく、一貫して高品質な結果を生み出します。このモデルは、バリ、オーバーハングまたは欠陥がない25nmから40nmのフォトレジスト蒸着を生成するように設計されています。SEMITOOL WST-308は、電子部品を設計するための信頼できるツールです。
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