中古 SEMITOOL WST-308 #9155218 を販売中

SEMITOOL WST-308は、非常にタイトなプロセス制御、正確な再現性、および生産アプリケーションの公差を提供することができるフル機能のフォトレジスト加工装置です。それは光学および電子ビームのリソグラフィの両方で使用することができるさまざまな湿式および乾式加工可能なフォトレジストを提供します。SEMITOOL WST 308は、完全に自動化されたシングルウェハプロセスシステムを備えており、精密フォトレジストコーティング、ベーキング、およびエッジベッドエッジクリーンアップを可能にします。フォトレジストコーティングは、精密なロータリージェットスプレーCoater™によって制御され、独自のロータリーノズルを使用してフォトレジストを噴霧しながらウェーハに噴霧します。単位は正確なコーティングの厚さ、反復性および付着のための独立した温度および速度のプロフィール制御を特色にします。ウエハのエッジは、Edge-Bead Removal Machine （EBRS） ™を内蔵したプリエッジベッドクリーンおよびドライエッジリワークです。WST-308ツールには、正確な均一性と迅速なターンアラウンドタイムを提供する高度な真空昇華ベークアセットが装備されています。それは温度を安定させ、蒸発ロックアウトのポイントを容易にする二重段階の暖房を特色にします。ベークモデルには、連続負荷の間で正確なプロセスパラメータが維持されるように回復機能が含まれています。装置は、サプライヤーの範囲から標準、レジストコート基板を処理します。フォトレジストプロファイルとレシピは、繰り返し使用するために保存および呼び出すことができます。このシステムは、厳格なプロセス制御パラメータを満たしており、優れた均一性と再現性を提供します。このユニットは、除去や洗浄などの重要なプロセスの手動技術を置き換えることができ、プロセスのパフォーマンスと歩留まりの向上につながる可能性があります。また、大気圧モニター、絶縁オイルバス、自動安全インターロックなど、さまざまなオプションと安全機能を備えています。WST 308は、幅広いフォトレジストアプリケーションの要件を満たすように設計されており、堅牢で正確なパフォーマンスを提供します。このツールは、中規模から大量の生産プロセスにおいて、柔軟性、パフォーマンス、信頼性の優れた組み合わせを提供します。