中古 SEMITOOL WST-308 #9155122 を販売中
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SEMITOOL WST-308は、高精度フォトリソグラフィックマスクを作成するために使用できる高精度フォトレジスト機器です。このシステムは、大規模機能と小規模機能の両方に精度と再現性を内蔵しています。SEMITOOL WST 308は、すべての運用プロセスにサーボ制御されたx、 y、およびz軸を備えています。このユニットは、正または負のフォトレジストと、多層形成に使用される柔らかいレジストを使用できます。この機械は、遠心力に頼らずにあらゆるタイプの基板を持ち上げ、回転させ、配置する機能を備えています。2つのシリンジポンプは、液体とスラリーベースのフォトレジストの両方を分配するための正確で制御可能な材料フローを提供します。ポンプは異なった粘着性のレベルを収容し、容易で、安全な操作を可能にするために調節可能です。このツールは、幅広い基板サイズにわたるフォトレジストの分布を最大化するために、スピニングスピン用途に最適化されています。アセットのソフトウェアには、光量と強度から収差のない画像まで、さまざまな露出プロファイルが用意されています。WST-308には、温度制御処理用のオプションのコールドプレートや、小さな位置シフトの検出と修正が可能な自動フレームアライメントモデルなどもあります。これにより、異なる材料の厚さにわたって同じ露出プロファイルが一貫して達成されます。全体として、WST 308は信頼性の高いフォトレジスト機器で、さまざまなアプリケーションに一貫した反復可能な結果を提供するように設計されています。クラス内のあらゆるシステムの最高レベルの精度、再現性、制御を備えています。このユニットは、非常に小さな機能サイズのフォトリソグラフィックマスクを製造する能力を持っており、イメージングからウェーハ、マスク開発まで、さまざまな作業に使用できます。
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