中古 SEMITOOL WST-306MI #81412 を販売中

SEMITOOL WST-306MIフォトレジスト装置は、フォトレジスト材料を基板に高精度にパターニングするために設計されたシステムです。このユニットは、精度と精度が最も重要な半導体およびマイクロエレクトロニクス業界のアプリケーションに最適です。WST-306MIは、プロジェクションアライナー（PA）を備えたシングルチャンバーツールで、ウェーハとマスクの交換をサポートし、最大300mmウェーハ上で正確にシャドウイメージングを行うことができます。また、CMS （Contamination Monitoring Tool）を内蔵しており、プロセスチャンバー内のパーティクルモニタリングおよびクリーニングセンサーを使用して、清潔性と衛生性を向上させます。また、ディープUV、 i-line、 ディープUV/i-lineフォトレジストプロセスにも対応しています。SEMITOOL WST-306MIのプロセスチャンバーには、均一な低圧ケミカルフリー（ULPCF）バルクランプとクォーツセラミックフォトレジストコーターが装備されています。均一な低圧ケミカルフリー（ULPCF）バルクランプは、基板上の均質なUVおよび深紫外線パターンを提供し、光の位置と強度を正確かつ正確に制御するように設計されています。クォーツセラミックフォトレジストコーターは、統合されたヒーター、マイクロポンプ、ファンを使用して均等に分散したレジストコーティングを保証します。統合された温度と流量センサにより、フォトレジスト材料の温度と粘度を正確に制御できます。WST-306MIはまた、正の紫色、負の紫色、2層フォトレジスト、単層フォトレジストなど、さまざまな特殊フォトレジストプロセスをサポートしています。また、すべての温度で均一なレジストパターニングを保証する特別な熱制御パッケージで事前設定されています。モデルはほとんどのタイプの感光材料と互換性があり、プロセスを簡単にセットアップ、監視、制御する直感的なソフトウェアインターフェイスを備えています。SEMITOOL WST-306MIは、信頼性が高く効率的で正確なフォトレジストパターニングプロセスを提供します。プロセスの精度と均一性はどれにも負けませんが、簡単なセットアップと直感的な操作により、高スループットのアプリケーションに適しています。この機器は、最も要求の厳しいフォトレジストパターニングアプリケーションに最適です。