中古 SEMITOOL WST-306MI #137518 を販売中

SEMITOOL WST-306MIは、大量のフォトリソグラフィ生産に使用するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。高度な堅牢な設計により、温度精度WST-306MI 0。1°Cの再現性を備え、最大300mmウェーハを支えることができます。このシステムは、フォトレジストやその他の液体を処理するためのウェットベンチと無菌輸送プロセッサ（ATP）で構成されています。SEMITOOL WST-306MIは、基板キャリアやエッジベッド除去治具を含む作業片の効率的な進入と排出を可能にする統合コンベアを備えています。さらに、このユニットは、カーボンベースのフィルター、光化学処理システム、インラインデガッサろ過など、化学寿命を最大化するための複数のオプションを備えて設計されています。WST-306MIは、陽性および負のフォトレジスト、ストリッピング、開発、テンプレート作成、およびウェットケミカルと開発者ガスの両方でのマスキングなどのアプリケーションをサポートしています。これにはインテリジェントなユーザーインターフェイスがあり、オペレータはあらかじめ定義されたプログラムまたはユーザー定義のレシピを使用してシーケンスを実行できます。SEMITOOL WST-306MIは標準的なクリーンルームインターフェイスも備えており、統合された監視ユニットでリモート監視することができます。WST-306MIは5ステップのフォトレジストプロセスモジュールを提供します。これには、プレベーク、ポストベーク、露出後ベーク、ポストストリップベーク、および除去後ベーキングプロセスが含まれます。また、基板搬送フラム内の温度センサ監視、プロセスキャビネットの内部センサ監視も含まれています。全体として、SEMITOOL WST-306MIは、さまざまなフォトレジスト、化学薬品、開発者ガスを確実に処理できる効率的なワークフローを備えた高度なフォトレジストマシンです。自動化された処理シーケンス、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、統合された監視により、優れた結果と効率的な操作が可能です。このツールは、半導体およびオプトエレクトロニクス産業における大量のアプリケーションに適しています。