中古 SEMITOOL WST-306MG #9014933 を販売中

SEMITOOL WST-306MGは、高性能ウェーハ加工用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高度なデバイス用途のナノスケール構造の作成に最適です。最大6インチウェーハ用の自動ローディングユニットと、正確な温度制御のためのプログラム可能なヒーター/クーラント機を備えています。フォトレジストツールには、処理中の酸化を防ぐための制御された雰囲気も含まれています。WST-306MGには、フォトレジストコーティングされたウェーハを正確に処理するための高度な機能がいくつかあります。ウェーハ上の各パターンの正確な焦点を決定するために、3つのレベルの自動光学を備えています。精密基板テーブルにより、加工前にフォトレジストコーティングされたウェーハのアライメントが可能です。このアライメントは、露出時のパターンの歪みを防ぐために、大面積フィルムにとって重要です。さらに、加工中にフォーカスやステージ位置の自動調整が可能です。SEMITOOL WST-306MGは、精密ステッピングモーターを使用して、ウェーハをあらかじめ決められたステップでエリア全体に移動させて露出させます。また、アスペクト比の高い照明アセットを採用し、3D構造化を実現しています。このモデルは、簡単なパターン転送を可能にするために、標準のCADシステムと統合するように設計されています。フォトレジスト装置は、信頼性と一貫した性能のために設計されています。堅牢な振動のない剛性を備えており、プロセス全体で最適なアライメントを確保します。そのサブ周囲乾燥処理機能は、フォトレジストフィルムの高品質なアプリケーションを保証します。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、操作が簡単かつ効率的になります。WST-306MGは、フォトマスク製造、半導体デバイス製造、リソグラフィーマスク製造、薄膜蒸着、光学素子製造などのナノスケール研究用途に最適です。その先進的な光学系と制御環境により、正確で正確な処理が可能になり、ナノスケール構造が形成されます。これらのナノ構造は、高度なデバイスや製品の開発に使用することができます。