中古 SEMITOOL WST-306 #9379931 を販売中

SEMITOOL WST-306は、基板からのフォトレジストのストリップとクリーンのために設計されたフォトレジスト除去装置です。それは部屋に水酸化ナトリウムおよび超音波を注入する原理に作用します。このシステムは通常、半導体製造におけるフォトレジストの除去と洗浄に使用されます。WST-306は、108°Cまで加熱されたオープンワークチャンバーを備えており、加熱されたケミカルバスと乱流キャビテーションを可能にします。単位は3つのチャネルが、異なった温度および作動モードのためにそれぞれ装備されています。この機械はまた、キャビティ加圧と減圧を正確に制御するように設計された圧力計を備えています。圧力計は、レジストストリッププロセスで指定された圧力レベルを維持するために使用されます。SEMITOOL WST-306は、直径200mmまでのさまざまなサイズのフォトレジスト基板に対応できます。また、AZ-、 SU8-、 ArFフォトレジストなど、さまざまなフォトレジストタイプと互換性があります。このツールには、精密回転リフトプラットフォームが含まれており、滑らかな機械的リフト運動を提供し、繊細な基板への損傷を排除することができます。リフトプラットフォームは、清掃とメンテナンスのためのチャンバーへの簡単なアクセスを可能にします。アセットは手動または自動プログラムシーケンスで操作できます。マニュアルモードでは、ユーザーは事前に設定されたさまざまなサイクルパラメータから選択できます。また、プログラマブルサイクルストレージオプションを備えており、最大8つのユーザー定義プロセスプロファイルを保存し、後で実行するために呼び出すことができます。WST-306は、半導体基板からフォトレジストを除去・洗浄する用途に最適です。それは非常に効率的で信頼性が高く、一貫した再現性のあるプロセスを可能にします。また、このデバイスはメンテナンスを最小限に抑える必要があり、費用対効果が高くなります。