中古 SEMITOOL WST 172 #142238 を販売中

SEMITOOL WST 172フォトレジスト装置は、半導体/MEMSウェハ加工に最適な自動スプレーコーティングシステムです。高度な構成が可能で、幅広い化学製品をサポートしており、厚さ0。1〜4 μ mのコーティングを3〜4％均一に開発することができます。このユニットは、一度に最大8つのウェーハを処理することができ、プリクリーン、スプレーコーティング、開発者、スクラバーなど、さまざまなプロセスモジュールで使用できるプラットフォームで設計されています。この機械は、統合された直接降伏ノズル分配マニホールドツールを使用して、高解像度で均一なコーティング厚を生成します。本体には、ロボットエンドエフェクター（REE）、スプレーノズル、アクチュエータ、センサーが装備されています。ノズルは調節可能、液滴のサイズ、スプレー角度およびスプレー圧力の制御、またスプレーパターンの位置を促進するためにです。REEは機械的に駆動され、最適なスプレー均一性を達成するために調整可能なブロードキャスト構成を提供します。エアロゾルは、正確で一貫した再現性のあるコーティング結果を保証するために、制御された方法で均等に分布します。WST 172は、2つ以上のウェーハをコーティングするためのデュアルプラテン回転を内蔵しており、1ウェーハあたりのプロセス時間は約15分です。その他の機能としては、正確なパターンを作成するための高度なパターンコントロール、プログラマブルスプレーレートのマルチステップ調整、コーティングを検証するためのパーティクルモニタリングアセット、プロセス中の不活性および制御された周囲影の窒素モジュールなどがあります。このモデルには専用のユーザーインターフェイスがあり、プロセス中に問題が発生したことを警告します。低温スプレープロセスで動作するため、プラスチック、ガラス、GaAsなど様々な基板での使用に適しています。スプレープロセスは有害な有機溶剤を減らすのを助け、従って災害の危険を減らし、不必要な損傷を防ぎます。SEMITOOL WST 172は、他のSEMITOOLマシンとの調整も可能で、より高速で効率的なプロセスを可能にします。全体的に、WST 172フォトレジストシステムは、高い精度と再現性を提供し、単一のウエハから大規模な処理までのアプリケーションに適しています。このユニットは、高度な均一性、改善されたプロセス制御、および廃棄物の削減を保証し、半導体および微細加工アプリケーションに最適です。