中古 SEMITOOL WSST #9400944 を販売中

SEMITOOL WSSTは、SEMITOOL inc。によって設計および製造され、2000年にリリースされたフォトレジスト機器です。これは、さまざまなフォトレジストと機能を選択できる自動サブミクロンフォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、SEMITOOL以前のフォトレジストプラットフォームWFSTの2倍の速度で12インチと6システムの28基板を保持することができるプログラマブルスキャナで構成されています。ウェハクリーニング、ウェット/ドライエッチング、フォトレジストストリップなど幅広い用途に対応しています。異方性プラズマエッチングは、高い層の選択性を提供し、高度な3Dサスペンション技術は、凹面または非平面基板でも均一な膜厚を可能にすることができます。WSSTは、コンタクトマスクの修理、多層絶縁エッチング、バックサイドダイレクトイメージングなどのラインプロセスのバックエンドに最適化されています。SEMITOOLが提供する高い信頼性に加えて、追加のパフォーマンスをサポートします。そのコンポーネントは、バランスの取れた熱環境、効率的な動作、優れた信頼性を確保するために、最小の振動を提供する完全にエアベアリング閉じた力学です。さらに、SEMITOOLには、高電流フォトレジストアプリケーションや独自の高精細スキャン機能などの統合オプションが含まれています。単一の基板生産用の追加のTrack Out/Track In （T/T）ツールや、弓、反り、地球温度ドリフトの統合補償用のオプションのトランザクション製品レーン（TPL）など、さまざまなソリューションに対応できます。さらに、SEMITOOL WSSTは、最高温度135°C、最大フォトレジスト厚3500アングストロームのClass Iクリーンルーム環境で使用するように設計されています。そのサイズは自動化されたプロセス材料、コンピュータ制御、および標準的な25'の長い負荷ロックおよびほこりのない窒素の環境と取付けられている堅い前部から背部コンパクトな設計と純粋な清潔さを保障するために統合されます。WSSTフォトレジスト資産は、人間の介入なしにフォトレジスト製品、コンタクトマスク、およびMOEMSのフルレンジを処理する能力を提供します。オーバーヘッドの少ない特定のプロセス要件を満たすためのさまざまな機能を提供します。アプリケーションの機能と範囲は、サブミクロンリソグラフィープロセスに最適です。