中古 SEMITOOL WSST #9146530 を販売中

SEMITOOL WSST
製造業者
SEMITOOL
モデル
WSST
ID: 9146530
Wet strip system.
SEMITOOL WSSTは、これまで以上に高い解像度と精度でフォトマスクを開発できる画期的なフォトレジスト機器です。このシステムは、最大1。0ミクロンの精度でフォトマスク上の画像を作成するために協力する一連の機械および光学部品で構成されています。WSSTユニットは2つの主要コンポーネントで構成されています。1つ目は、フォトマスクに正確に制御された環境を提供するスピンクランプ周期スピンドルです。2つ目は、フォトマスクの開発に使用される、非常に均一で局所的な電磁気(EM)エネルギーを生成する強力な光学系です。スピンクランプ周期スピンドルは、フォトマスク処理に最適な環境を提供します。それらは任意の任意の構成にスピンしてロックすることができるので、フォトマスキングプロセスに関連するすべてのパラメータを正確に調整することができます。スピンドルには温度センサーも備えており、スピンドルの速度と方向の両方を正確に制御できます。強力な光学系は、フォトマスクを開発するために使用される均一でローカライズされたEMエネルギーを生成します。このEMエネルギーは一連のレーザーおよびレーザーのダイオードによって作り出され、フォトマスクのあらゆるポイントに指示することができます。マスクが均一なEMエネルギーと均等に露出されることを保障するのに使用することができる機械はまた真空用具が装備されています。EMエネルギーがフォトマスクに誘導されると、マスクの一部をエッチングしてパターンに変換されます。このプロセスは、低消費電力レーザーでフォトマスクをスキャンし、エッチングされるパターンを検出する別の精密光学系によって制御されます。パターンが検出されると、決定されたパターンがフォトマスクにエッチングされます。このプロセスは高精度で、最大1。0ミクロンの解像度でパターを作成できます。強力な光学系とスピンドルに加えて、SEMITOOL WSSTアセットは、精密なイメージングプロセスを保証するさまざまなコンポーネントを備えています。超音波コンサーバ、自動校正モデル、オートフォーカス装置、フェイルセーフシステムなどがあります。その結果、WSSTはフォトマスクを作成するための革新的なソリューションを提供します。このユニットは、比類のない精度と精度を提供し、最大1。0ミクロンの解像度でパターンを作成することができます。このマシンは非常にユーザーフレンドリーで、1人のオペレーターで簡単に操作できます。これは、正確で正確なフォトマスキングに依存している組織にとって非常に貴重なツールです。
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