中古 SEMITOOL WSST #9097197 を販売中

SEMITOOL WSSTは、幅広いリソグラフィ要件に対応するように設計されたフォトレジスト処理システムのスイートです。装置は3つの主要な部品から成っています：主要なプロセス部屋、負荷ロック部屋および浴槽。半導体製造時のフォトレジストコートの成膜、エッチング、洗浄用に設計されています。高速真空ポンプ用のターボポンプを搭載し、幅広いプロセス、温度、圧力をサポートする能力を備えています。ロードロッキングチャンバーは、前処理されたウェーハをメインチャンバーに入る前に不活性な雰囲気に移すために使用されます。このチャンバーは、メインチャンバー内の最適な真空条件を維持するためのバッファとしても機能します。バスタブモジュールは、プロセス工程の間にウェーハを洗浄するための低圧スプレーシステムであり、高度なアプリケーションでトラッククリーニングやスズコーティングにも使用できます。このユニットには、プロセスパラメータを監視および制御する2つの独立したコンピュータコントローラが装備されています。コントローラはメインチャンバー、ロードロックチャンバー、バスタブに接続され、チャンバー温度、ガスの流れ、プロセス時間など、さまざまなパラメータ設定にアクセスできます。コントローラにはプラズマ点火システムも装備されており、包括的なデータロギング、フォルトロギング、プロセスパラメータのリアルタイム表示を提供します。WSSTは、さまざまな半導体部品およびアプリケーション向けに、信頼性と費用対効果に優れたリソグラフィおよびフォトレジスト加工ソリューションを提供します。フォトレジスト沈着、エッチング、クリーニングのための反復可能で均一な結果を提供する革新的なプロセス管理および制御システム、および洗練された性能監視および故障診断手順が装備されています。機械は優秀な柔軟性のために設計され、堅いプロセス制御の最適フォトレジストの性能を保障します。