中古 SEMITOOL WSST #9097196 を販売中

SEMITOOL WSSTは、超紫色レーザー技術を利用して半導体材料のパターンを作成する先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、信頼性の高い均一性と精度で、繰り返し可能で長期的な結果をもたらすように設計されています。単位は2つの主要な部品から成っています-レーザー源および段階。レーザー出力を制御するためにacousto光学変調器（AOM）を搭載したUVレーザー源。これにより、パターン領域を正確に制御し、高解像度のフィーチャー定義を可能にします。さらに、コントローラにはいくつかの調整可能なパラメータがあり、オペレータは強度、周波数、およびパルス持続時間を調整できます。段階は機械の中心部分です；基板ホルダー、液晶モニター、露出マッピングツールの3つのコンポーネントで構成されています。基板ホルダーは、最大直径6インチの基板をサポートし、1つのバッチで基板の複数のレジストパターンを可能にします。液晶モニターは、基板の正確な位置決めを可能にし、オペレータはレーザービームとパターン領域を正確に整合させることができます。露出マッピングアセットは、パターニングプロセス中の露出マップを測定し、オペレータが希望するパターンが適切に露出されるようにします。このモデルには、簡単に操作できるWebベースのGUIも含まれています。このインターフェイスにより、ユーザーはレーザー出力、パルス数、露光時間などの設定を行うことができます。さらに、GUIは、パターニングの進行状況や基板の温度など、機器の現在の状態についてのリアルタイムのフィードバックも提供します。要するに、WSSTは、さまざまな半導体材料の信頼性の高いパターニングを可能にする高精度フォトレジストシステムです。このユニットは、直感的なWebベースのGUIと高度なレーザー技術を備えており、パターニングプロセスを正確に制御します。