中古 SEMITOOL WSST-806A #9269858 を販売中

SEMITOOL WSST-806Aはフォトレジスト装置で、半導体部品を製造するためのシングルウェハアプリケーションとマルチウェハアプリケーションの両方を扱うように設計されています。これは、-20°C〜+75°Cの温度制御範囲と調整可能なセンターラインの高さを備えた電動浸漬チャックを備えています。高解像度モーションユニットとステッピングモーターコントローラを搭載し、ウェーハの高さや角度を正確に配置できます。機械にまた精密な時間および温度調整のための高速回転モーターそして温度センサーがあります。フォトレジストプロセスは、マスキングパターンを使用して、特定の材料から化学的およびエッチングプロセスを通じてデバイスを作成します。この特定のツールでは、フォトレジストがウェーハに適用されます。応用フォトレジストは、紫外線またはレーザー光にさらされ、フォトレジストの露出領域にエッチングすることができます。次に、定義されたパターンを残して、露出した領域が削除されます。信頼できる反復可能な結果を生み出すためには、フォトレジストの時間と温度をプロセス全体で正確に制御する必要があります。SEMITOOL WSST806Aアセットは、フォトレジスト処理に精密で一貫して反復可能な環境を提供するように設計されています。スピン速度は最大2885 RPMで、フォトレジスト露光の時間と温度を最適化できます。このモデルはまた、再現可能な結果を得るために-20°C〜+75°Cの温度調節を備えた高分解能の電動浸漬チャックを備えています。さらに、この機器にはエンコーダインターフェイスが装備されており、ウェハの中心線の高さを正確に制御できます。WSST-806Aシステムは、半導体メーカーが再現可能なプロセスで洗練された半導体コンポーネントを作成するための効果的なツールです。その電動浸漬チャックと自動化されたユニットパラメータは、正確で一貫したイメージング結果を提供します。高速スピンモータと温度レギュレーションにより、信頼性の高いフォトレジスト露出を実現し、1つまたは複数のウエハの信頼性と再現性の高い処理環境を確保します。