中古 SEMITOOL WSST-608-AG #9410291 を販売中

SEMITOOL WSST-608-AGは、半導体プロセスで使用される高精度の光学部品を作成するために協力する複数の部品で構成されるフォトレジスト機器です。このシステムは、オートメーションプラットフォーム、ソフトウェア、およびプロセス制御コンポーネントで構成され、フォトリソグラフィーソリューションの統合スイートを提供します。フォトリソグラフィの中心にはツールヘッドがあります。これはウェーハを処理する主なツールであり、画像の投影とアライメントを担当します。WSST-608-AGは、最大0。2ミクロンの画像解像度でカスタムイメージを生成できるMEMSベースの投影ツールヘッドを備えています。また、フルリニアやチルト調整範囲などの高度なアライメント機能も備えており、パターンの正確なアライメントを保証します。また、フォトレジストの完全性を確保するために、2段階のベーキングプロセスも備えています。暖房オーブンは適用によって穏やかな、より強い暖房を、提供します。また、ロボットウェーハハンドリングを使用して、ウェーハが慎重かつ正確に処理されるようにします。SEMITOOL WSST-608-AGには、ユーザーがワークフローを作成およびカスタマイズし、リソグラフィ設定を最適化し、プロセス結果を監視できるソフトウェアが含まれています。このソフトウェアには、ユーザーが独自のアプリケーションのニーズを満たすためにカスタムレシピと設定を作成できるようにするためのさまざまなオプションが含まれています。また、一般的に使用される設定のライブラリも含まれており、ユーザーはプロセス設定を素早く簡単にカスタマイズできます。ソフトウェアはグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、設定の調整と監視を容易にします。最後に、このマシンはコントローラ、モニター、センサーを含む複数のプロセス制御コンポーネントを備えています。プロセスコントローラはツールに精密制御を提供し、各レイヤーが正確に処理されるようにします。アセットには音響信号モニタリング装置も備えており、異常やモデルエラーを検出するのに役立ちます。これにより、機器が最適な状態で動作していることが保証されます。結論として、WSST-608-AGフォトレジストシステムは、半導体プロセスで使用されるような高精度の光学部品のための完全なソリューションとして設計されています。堅牢なMEMSベースのプロジェクションユニット、高度なアライメント機能、2段ベーキングオーブン、自動ウェーハハンドリング、および付属のソフトウェアスイートを備えています。このマシンは、精度と再現性を確保するための統合ソリューションをユーザーに提供します。