中古 SEMITOOL WSST-608-AG #293616248 を販売中

SEMITOOL WSST-608-AGは、ウェーハ表面処理・加工用のフォトレジスト機器です。このシステムは、ウェーハクリーニング、パターン転送、レジストストリッピング、スクラブの要件に対応するように設計されています。WSST-608-AGユニットは、優れた性能と信頼性を提供するために高度な技術を使用しています。SEMITOOL WSST-608-AGは、さまざまな業界アプリケーションに対応するように設計されています。半導体やMEMSデバイスの洗浄・開発、シリコンウェーハの精密リソグラフィ、有機膜の熱処理などの応用範囲があります。このマシンは、工業用グレードのステンレススチールフレーム、6ポジションウェーハリフター、ウェーハプリトリートメント用のホットプレート、および正確なウェーハトランスファー用のウェーハスピントラックで構築されています。また、自動ウェーハカセットのロードとアンロードのための統合されたオプションがあります。このツールは、半導体メーカーがサイクルタイムを最小限に抑えて正確で一貫したフォトリソグラフィ結果を達成できるように設計されています。高度なプラズマアッシングプロセスを使用して、ウェハの表面が必要な仕様に完全に洗浄されていることを確認します。高性能なリアルタイムオゾン監視アセットを使用して、プロセスパラメータを正確に制御します。WSST-608-AGは、操作を簡素化し、最大の生産性を確保するために、幅広い自動プロセスとセンサーで構築されています。最大歩留まりを実現するための迅速かつ自動的な生産サイクル時間と、正確かつ一貫した結果を得るための完全自動ウェーハ処理を可能にします。このモデルには温度および圧力制御装置が内蔵されており、各アプリケーションに合わせてプロセスパラメータが最適化されています。温度範囲は10ºC〜+125ºCで、ポリマーや多孔質ポリイミドなど幅広い材料の加工に最適です。また、正確なガス流量と化学混合比を保証するガス流量制御システムを備えています。SEMITOOL WSST-608-AGは、GMP、 SEMI-S8、 BS EN ISO-9000、 E305、およびISO-14040規格に準拠するように設計されています。また、騒音汚染を低減し、より高いエネルギー効率を促進するために、内蔵の堅牢なサーマルエンクロージャを備えています。このユニットは、2年間の保証と24時間年中無休のテクニカルサポートとカスタマーサポートによってサポートされています。