中古 SEMITOOL WSST-421 #9404286 を販売中
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SEMITOOL WSST-421は、基板上のフォトレジストを処理するために設計された装置です。フォトレジスト技術(Photoresist technology)とは、目的のパターンを選択的に光にさらすことで基板にエッチングする技術です。このタイプの機器は、常に小型の回路や部品を作成するための半導体業界で一般的に使用されています。WSST-421は、単一のピーク、UV露出装置を使用してフォトレジストパターンを開発します。SEMITOOL WSST-421は、正確で反復可能なフォトレジスト処理結果を提供する自動化システムです。アライメントインデックスユニットを使用すると、基板を効率的にロード、整列、露出できます。マルチゾーンホットプレートは基板の温度を制御し、フォトレジストが基板に一貫して適用されるようにします。このホットプレート機能はまた、可動部品を削減し、高速かつスムーズな動作をもたらします。WSST-421は、一貫したエッチング結果を提供するように設計された高周波、中性pHフォトレジスト開発者を利用しています。ホットプレート温度は、異なる開発者が異なる程度のエッチングを達成するために使用できるように制御することができます。フォトレジストを基板に塗布する速度、露出時間(最大9秒まで調整可能)を調整できます。さらに、SEMITOOL WSST-421は数多くの安全機能を提供しています。使用していない場合は自動的にシャットオフし、安全インターロックマシンが含まれています。基板ホルダー設計により、基板が確実にクランプされ、その高さが正確に測定されます。最後に、マシンにはメンテナンスがほとんど必要ありません。要約すると、WSST-421は、効率的で正確で反復可能な結果を提供する自動、高精度フォトレジストツールです。調整可能な温度と露出の設定と直感的なデザインにより、SEMITOOL WSST-421はあらゆるアプリケーションのフォトレジスト処理に最適です。
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