中古 SEMITOOL WSST-408A #9401359 を販売中

SEMITOOL WSST-408Aフォトレジスト装置は、完全に自動化されたシングルウェハウェットストリップシステムです。このユニットは、プログラマブルおよびプロセス制御ストリッピングソリューションを使用して、制御された雰囲気の中で単一のウェーハからフォトレジストを除去するように設計されています。機械は8,12,または15インチ（200,300,または350mm）を含むサイズの400mmまでウェーハを扱うことができます。このツールには、40リットルのストリッピングソリューションと温度制御メータリングポンプを備えた貯蔵タンクが含まれており、4チャンネルと5つの攪拌磁石があります。化学投与はデジタルポンプコントローラで正確に制御され、プログラマブルコントローラはプログラムの手順を管理します。ステンレス製の反応室には、4つの濃縮バルクヘッドとP21空気循環資産、およびUV/オゾンランプおよびガス注入システムが装備されています。自動化されたウェーハハンドリングモデルは、ウェーハを反応チャンバ内および外部に輸送します。この装置はまた、自動液体およびガス排気用のTurboX真空ポンプを備えています。WSST-408Aは、塩酸、硫酸、水酸化アンモニウム、過酸化カリウム、過酸化水素などのさまざまな溶液でフォトレジストを除去することができます。また、60°Cまでの温度でウェーハを除去することができ、より高いレベルのウェーハ表面の清潔性とより困難な抵抗を除去する能力を可能にします。最終結果は、より高い均一性、増加した歩留まり、およびより高いスループットです。このシステムは、プロセスの柔軟性を考慮して設計されており、シンプルなソフトウェアユーザーインターフェイスにより、オペレータはプロセス条件を変更するためのパラメータを調整することができます。SEMITOOL WSST-408A Unitの幅広い機能により、高収量フォトレジスト除去プロセスに最適です。