中古 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870 #9265365 を販売中

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870は、マルチレベル、MEMS、 MCM、およびその他の先進半導体デバイスの大量生産用に設計されたフォトレジスト機器です。液相・蒸気相共に高効率の層流プロセス仕様を備えています。これにより、正確なフィルムカバレッジとprocesstoプロセスの再現性が可能になります。さらに、SEMITOOL ST-870はマルチゾーンRFバイアスプラテンを備えています。このプラテンは急速な熱処理を提供し、厳しい処理要求を満たしながら、信頼性と再現性の高いプロセスを可能にします。このユニットには統合されたデータ管理マシンが装備されており、迅速かつ簡単なデータ追跡とレポート作成が可能です。汎用性の高い技術ST-870には、プレクリーンなチャンバー、レジストストリップチャンバー、溶剤除去チャンバー、スピンコーターチャンバーなど、さまざまなプロセスチャンバーがあります。これにより、このツールは、フォトレジストアプリケーションの広い範囲を処理することができます。このアセットには、層の厚さ測定、層プロファイルの測定、欠陥解析のための一般的な検査を可能にするin-situ計測チャンバもあります。このモデルは、プロセス制御とデータ分析のためにグローバルに制御されたコンピュータネットワークを利用しています。これにより、高度なプロセス制御および分析機能が提供されます。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスは、操作と構成の容易さを提供します。ST-870は、最大900°Cの全熱流量プロファイルを備えているため、幅広い材料に適しています。また、プロセスデータ追跡システム、マルチゾーン加熱プラテン、ウェーハおよびキャリアの自動管理など、さまざまなカスタム機能を備えています。要するに、SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870は、マルチレベル、MEMS、 MCM、およびその他の高度な半導体デバイスの製造用に設計された先進的なフォトレジストユニットです。これは、高効率の層流処理とプレクリーンチャンバー、レジストストリップチャンバー、スピンコータチャンバー、in-situ計測チャンバなど、さまざまなプロセスチャンバを備えています。このマシンには、プロセス制御とデータ分析のためのネットワーク化されたコンピューター制御が装備されています。さらに、このツールは、プロセスデータ追跡資産、マルチゾーン加熱プラテン、ウェーハおよびキャリアの自動管理など、さまざまなカスタム機能を提供します。