中古 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07 #9308550 を販売中

SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07
ID: 9308550
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07は、幅広い基板上のフォトリソグラフィ用途向けの最先端フォトレジスト機器です。フォトリソグラフィは、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス製造に使用するための画像、パターン、構造を作成するために、基板を光にさらすことを含みます。SEMITOOL SRD 07は、このプロセスで使用するために設計されており、信頼性が高く、正確で経済的なシステムを提供します。汎用技術SRD 07は、あらゆる動作範囲で1ミクロン未満の精度の基板位置決めユニットを備えています。また、XY平面に配置された2つのレーザー光源で構成されたデュアルビームレーザーアライメントマシンが含まれており、正確なパターン形成を保証するために基板の高精度な登録を保証します。レーザー光は、レジスト層の露出を達成するために可変スリットマスクを介して渡されます。さらに、高速ウェハトランスポートツールと大容量レジストタンクにより、SRD 07は優れたパターニング機能を提供します。レジストタンクは、最大直径8インチのウェーハを収容でき、多くの基板の量産が可能です。さらに、ウェハトランスポートアセットは基板の整列時に高い安定性と精度を提供します。SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07は、高解像度パターニングと優れた機能忠実度を提供する高度なリソグラフィ機能を備えています。これは、ラインスキャン電子ビームからなる高度なビーム光学モデルによって実現され、露光時間を短縮し、特徴サイズの精度を向上させます。最後に、SEMITOOL SRD 07は自動アライメント機能を提供し、毎回正確な基板配置を保証します。この機能は、人為的ミスを減らし、生産性を向上させるため、大量の生産プロセスに非常に有益です。要するに、SEMITOOLのVERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07フォトレジスト装置は、フォトリソグラフィーアプリケーションのための強力で柔軟なシステムです。精度、精度、自動化により、マイクロエレクトロニクス部品の製造に最適です。
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