中古 SEMITOOL System #293754153 を販売中

SEMITOOL装置は、薄膜などの材料を基板表面にパターン化するために使用されるフォトレジストシステムの一種です。リソグラフィーフィルムを光エネルギーのビームに露出させ、フィルムの化学組成を変化させて所望の形状にパターン化することで機能します。SEMITOOLユニットの中心には、SEMITOOL Photoresist Processor （SPP）があります。SPPは、フォトマスク、ステンシル、およびその他のフォトリソグラフィ製品の範囲を効果的に製造するように設計された高度なフォトレジスト加工機です。基板ローディングSEMITOOLツール、露出ユニット、露出コントローラ、露出後ベークアセット、コーティングSEMITOOLモデル、開発者/リンスユニットで構成されています。装置の各コンポーネントは、ユーザーに精密フォトレジスト加工経験を提供するために調整して動作します。基板ローディングSEMITOOLシステムを使用すると、平面基板をユニットに素早く正確にロードできます。これに続いて露光ユニットがあり、SEMITOOL Machineに搭載されたフォトマスクに光のビームを作成して投影します。露出ユニットを調整して光エネルギーの露出を調整し、フォトマスク全体に均一な光源が作成されるようにすることができます。露出コントローラは、露出後のベークツールに送信される電気信号に光の露出を変換します。SEMITOOL Assetは、フォトレジスト材料を安定させ、フォトマスク全体で均一な開発を保証するように設計されています。この後、コーティングモデルはフォトマスクをフォトレジスト材料の層で覆います。その後、開発者/リンスユニットは、フォトレジスト材料を溶解するために使用される「ストリッピング」と呼ばれるプロセスを実行し、フォトマスクによって定義された形状にパターン化することができます。これが完了すると、フォトレジストは水洗浄を使用して基板から取り除かれます。SEMITOOL装置は、従来のフォトレジスト加工システムの柔軟性を維持しつつ、業界をリードする速度、精度、精度を提供するという点でユニークです。スケーラビリティのため、大量のフォトレジスト処理にも最適です。小型医療機器部品から複雑な半導体チップまで、フォトレジスト材料の効率的かつ精密な処理を必要とする企業や研究所に最適です。