中古 SEMITOOL STI 870D #9307758 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
STI 870D
ID: 9307758
Rinser / Dryer Handle substrates diameter: 3"-6" Dual stack Wafer cassettes, 6" (2) Rotors: H BAR IN, 2800 RPM MAX, BAL 0-25, A194 60MB Operation / Maintenance manual.
SEMITOOL STI 870Dは、マイクロエレクトロニクスのパッケージング、薄型化、およびウェハレベルのMEMS/NEMSを可能にするように設計されたフォトレジスト機器です。基板材料の取り扱い、フォトリソグラフィック処理、マイクロファブリケーションのための統合された、高品質で費用対効果の高いプラットフォームを提供します。このシステムは、湿式ステーション、プレクリーンチャンバー、プレベークチャンバー、微細加工チャンバー、計測ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウェットステーションは、基板表面に薄膜および液体フォトレジストを適用するために使用され、基板の正確なアライメントと成膜を可能にします。プレクリーンチャンバーは、化学物質と機械的摩耗の組み合わせを使用して、基板から表面汚染物質を除去します。その後、プレベイクチャンバーは化学蒸着技術を使用して、基板上の残りの有機材料を蒸発させます。その後、マイクロファブリケーションチャンバーは、高出力レーザーを使用してフォトレジストを数百万の個々の回路機能にパターン化します。最後に、計測機は回路機能の精度と解像度を測定します。このツールは半導体産業に準拠するように設計されており、複雑な形状、劇的なフィーチャーサイズのばらつき、強烈な幾何学的精度を再現することができます。eelectronicsマイクロファブリケーションプロセスの効率、市場投入までの時間、およびコスト管理を大幅に870Dします。包括的な資産監視およびプロセス制御ソフトウェアを備えており、エンジニアにリアルタイムデータを提供し、教育を受けた意思決定を行います。このモデルは、低メンテナンス、低コストであり、異なる基板およびフィーチャーサイズを処理するために簡単に変更することができます。また、高精度かつ再現性に優れ、大量生産に最適です。全体として、SEMITOOL STI 870Dは、効率的で費用対効果の高いマイクロエレクトロニクスのパッケージングと製造を可能にするように設計された先進的なフォトレジストシステムです。基板の取り扱い、フォトリソグラフィック処理、マイクロファブリケーションのための統合プラットフォームを提供し、エンジニアに高解像度のパターニングと幾何学的精度を提供します。
まだレビューはありません