中古 SEMITOOL STI 860 #9395485 を販売中

SEMITOOL STI 860は、高度なマイクロエレクトロニクス用のウェーハ処理を容易にするために設計されたフォトレジスト機器です。浸漬、スプレー、サイクルタイムユーザー向けのオプションを備えたシステムの自動ソリューションケミストリーは、可能な限り最高のリソグラフィ結果を得るために一貫した信頼性の高いレジスト薄型化を実現します。このユニットは、密閉された環境を備えており、空気中の粒子への暴露を低減し、均一な加熱と一貫した湿潤を確保するために、直接ゾーン加熱機とボトムヒーターコンベアを備えています。カスタムノズル設計により、オーバースプレーなしでウェーハ表面に精密で一貫した分布を提供します。一方、ウェーハ周辺の溶剤の薄くて低速のカーテンは、正確な温度制御でフォトレジストを効率的に除去します。タッチスクリーンインターフェイスは、ユーザーにツールの操作のグラフィカルな概要を提供し、ユーザーが簡単に設定にアクセスし、プロセスステップを追跡することができます。さらに、このアセットには直感的なセットアップウィザードがあり、モデルに慣れていないユーザーにステップバイステップの指示を提供します。STI 860の特許取得済みのプロセス技術により、ユーザーは個々のフォトレジストのパフォーマンスに合わせてサイクルパラメータを調整できます。また、オプションのサイドウォール保護機能を備えており、露出後のベークおよび浸漬段階で優れたフォトレジスト保護を提供し、ウェーハの歩留まりを向上させます。SEMITOOL STI 860は、1時間あたり最大60枚のウェーハの高スループットを実現し、品質やサイクルの再現性を損なうことなくサイクルタイムを短縮できます。さらに、自動化されたシステムは手動洗浄を排除し、汚染のリスクを減らし、毎回均一な結果を保証します。