中古 SEMITOOL STI 860 #9012259 を販売中

SEMITOOL STI 860フォトレジスト装置は、最新の半導体産業のニーズを満たすように設計された強力で信頼性が高く、高度な機械です。このシステムは、手動および自動化されたウェーハ処理アプリケーションで優れた均一性と再現性を提供します。このユニットは、レジストスピンコーティング、露出後のベーク、開発、エッチング工程など、あらゆるタイプのフォトリソグラフィープロセスに使用するように設計されています。STI 860は、ウェーハ、マスク、ポッドなどの基板の取り扱い制御を構築しています。SEMITOOL STI 860マシンは、6ステーションの砲塔設計を備えており、前面と背面を通して基板を積み降ろすための優れたアクセシビリティを提供します。また、STI 860のチャンバー設計は、ウェーハ表面全体に均一なクロスリンクレジストの流れを提供するのにも非常に効率的です。メカニカルアームとフロー分布アセットを備えたプリカーソル配信ツールは、スピンアプリケーションプロセス中にフォトレジストの正確かつ均一な分布を保証します。SEMITOOL STI 860機器には、先進的なレジストスピンドライヤモデルも含まれており、周囲の汚染物質を損傷させる均一な乾燥と排除を保証します。精密負荷プレート設計により、スピンコーティング工程中のウェーハの正確な位置決めが可能となり、均一なレジスト厚と均一性が得られます。機械の耐久性は精密な流動動き制御を提供する頑丈なモーターの包含と改善されます。STI 860には、断熱ガラスで構成された大型の表示窓も装備されており、ユーザーは内部のプロセスの進行をよりよく監視することができます。さらに、自動制御システムは非常にユーザーフレンドリーで操作が簡単です。SEMITOOL STI 860は、高性能、信頼性、自動化により、半導体業界にとって優れた選択肢です。この高度なユニットは、幅広いフォトリソグラフィーニーズに効率的なソリューションを提供し、最新の半導体製造プロセスに簡単に組み込むことができます。STI 860はまた、ウェーハ加工やレジスト加工にも最適で、正確で反復可能で均一な結果を提供します。