中古 SEMITOOL STI 860 #293757364 を販売中

SEMITOOL STI 860は半導体産業の適用のために設計されている高度のフォトレジストの処理装置です。このシステムには、フォトリソグラフィ用の基板とフォトマスクを準備するための包括的なソリューションをユーザーに提供する、フォトリシスト処理と開発のためのハードウェアプラットフォームとソフトウェアコンポーネントが含まれています。STI 860は、ウェットベンチ、トラック、フォトリソグラフィーモジュール（スパイラルまたはリニア）の各種構成で構成されています。ウェットベンチはステンレス製の作業面で、フォトマスクを加工・開発するための排水・洗浄箇所があります。さらに、ベンチには、化学発煙の大気を排出するための通気管が含まれています。トラックには、フォトレジストモジュール、デベロッパーモジュール、乾燥ステーションを含むモジュールがあります。フォトレジストモジュールは、スピンチャック、基板センタリングステーション、フォトレジストソリューションを含むタンクで構成されています。開発者モジュールには、スピンチャック、開発者ソリューションタンク、乾燥ステーションが装備されています。乾燥ステーションは、異なる基板タイプと構成を可能にするように調整することができます。SEMITOOL STI 860は、安全で効率的なフォトレジスト加工体験を提供するために、多数の機能を備えて設計されています。ウェーハフィーダ、キャリアローダー、ウェーハアンローダーを装備し、加工時間の短縮と機械スループットの向上を図っています。さらに、このツールには、基板の適切な処理を確実にするための裏面汚染制御と基板整合性チェックステーションが装備されています。STI 860は半導体業界にとって信頼性と信頼性の高いフォトレジスト加工資産です。幅広い機能を備えたこのモデルは、高速で安全なフォトレジストプロセスを保証します。フォトマスク開発、ウェハ欠陥検査、リソグラフィなどの用途に最適です。