中古 SEMITOOL STI 260D #9206432 を販売中

SEMITOOL STI 260Dは、フォトリソグラフィープロセスで使用するように設計されたフォトレジスト機器です。これは、最大200mm2の容量を持つ2チャンバー垂直ウェットエッチプロセッサです。このシステムには、エッチング中にフォトレジストを均一に溶解させるために、水中マイクロ攪拌ユニット（SMVAS）が装備されています。SMVAS波は4Hzの周波数と25mmの波高でエッチング室を通過するため、感光層は非常に均一に溶解します。プロセッサのサブマージドマイクロ真空攪拌機は、塩素ベースのエッチング、アンモニアベースのエッチング、ウェットエッチングのリン酸、オゾンエッチングなど、幅広いエッチング処理を使用できます。さらに、SMVASは、多くのエッチング工程で通常経験されるバックサイドエッチングを低減するように設計されています。これにより、高解像度アプリケーションでの使用に最適です。プロセッサには5ステップコントローラが装備されており、標準の19インチ、10Uラックマウント可能なエンクロージャに収納されています。5ステップコントローラは、現代のフォトリソグラフィの生産に必要な使いやすく、正確で信頼性の高いプロセス制御を提供する高度なコンピュータ制御プロセスコントローラです。各ステップの制御は、直感的なソフトウェアインターフェイスを使用して独立して達成されます。これにより、今日の最先端のフォトリソグラフィーアプリケーションに必要な高い再現性と精度を実現します。プロセッサの基板ホルダーは最大200mm2を保持することができ、ラボで通常見られるものよりも大きな生産バッチに最適です。さらに、エッチング剤の温度を手動またはコントローラで調整して最適な結果を得ることができます。このツールは、危険になる前にガス、溶剤、エッチング薬品を自動的に遮断する安全機能も備えています。STI 260Dは、あらゆるフォトリソグラフィープロセスに最適です。5段階のコントローラとSMVASにより、正確で信頼性の高い再現性のあるプロセス制御が可能になり、安全機能により安全で効率的な職場を実現します。このアセットは200mm2以下の生産バッチに最適で、標準的な19インチの10Uエンクロージャに収納されています。