中古 SEMITOOL STI 260D #123183 を販売中

SEMITOOL STI 260Dは、フォトレジスト加工および少量生産アプリケーション向けに設計されたケミカルエッチング装置です。このシステムは、主にRIE（リアクティブイオンエッチング）やCMP（化学機械平面化）などのエッチングおよび化学プロセスに使用するために設計されており、さまざまなサイズや種類の基板を扱うことができます。最大エッチング速度1mm/minまでの直径300mmまでの基板加工が可能で、様々なフォトレジスト組成に対応できます。STI 260Dには、機械的に堅牢なオールアルミニウム真空チャンバーが内蔵されており、温度制御されたバックサイドクーラントコックが内蔵されています。このユニットは、クイックロック、マルチフェイス電極アセンブリを備えており、チャンバーを開けなくても素早く簡単に電極交換できます。3軸リニアドライブ電極機は、電極を正確に制御し、材料の侵食を最小限に抑え、エッチングの均一性に優れています。チャンバーはオプションのファラデープレートで密閉されており、充電の蓄積を最小限に抑え、パターンの歪みを低減し、エッチングの均一性を向上させます。SEMITOOL STI 260Dの機能は、直感的なユーザーインターフェイス、プロセスパラメータのリアルタイム監視、マルチプログラムメモリ資産など、さまざまな機能を提供する高度なプロセスコントロールツールによってさらに強化され、オペレータは特定のプロセスプロファイルを保存およびリコールしてスループットと効率を最大化することができます。このモデルは、視覚的な処理検証を備えた簡単なプロセスレシピプログラミングを提供し、ユーザーはエッチングされた材料の進捗状況と品質をリアルタイムで監視することができます。STI 260Dは、フォトレジスト加工のための効率的で信頼性の高い機器であり、少量生産と研究開発の両方の要求に応えるコスト効率の高い設計です。このシステムには、ユーザー、オペレータ、およびプロセス環境を保護するための包括的な安全ユニットが装備されており、迅速なターンアラウンドタイムで効率的で一貫した結果を提供できます。