中古 SEMITOOL ST-870 #9188736 を販売中

SEMITOOL ST-870は、大量のフォトレジスト用途に優れた性能を提供する革新的なフォトレジスト機器です。この精密に設計された半自動システムは、ダイレクトドライブスピンドルと優れたアライメント機能を使用して、ウェーハを正確に操作して再現可能なプロセス結果を得ることができます。SEMITOOL ST 870は、自動化されたスピン速度制御、高度なエッジ-グリッピングプレート、スタッキング可能なプロセスカセット、4ポケットおよびデュアルレーン化学分布などの幅広い機能を提供し、スピン速度、流体供給、および基板処理の制御を改善します。ST-870は非常にきれいな基質を提供するウェーハエッジクリーニングユニットを備えており、より良い品質のフォトレジスト結果を可能にします。より良い基板アライメントを実現するために、ST 870はレーザーアライメント技術とウェーハのエッジを正確に識別する非接触エッジセンサーを搭載しています。また、Micro Rinser Stationは液体開発者を分配し、フォトレジストのカバレッジを強化するために取り外します。フォトレジストツールは、さまざまなプロセスカセット、ウェハエッジハンドリング技術、およびフォトレジストカバレッジを最適化し、プロセス変動を軽減するツールを提供します。また、SEMITOOL ST-870は、回転基板上の0〜300mmまで調整可能なスプレーリンスステーションを備えており、すすぎカセットの調整は不要です。さらに、アセットには自動露出制御モデルとマルチレーザーターゲティング装置が装備されており、各ターゲットへの露出ツールの一貫したアプローチを保証します。SEMITOOL ST 870には、フードエンクロージャ、連動ドア、逆圧制御、フロアレベラーなどの安全機能のバンドルが装備されており、追加のセキュリティを提供します。ST-870 Photoresist Unitは、大量生産環境の特定のニーズを満たすように設計された汎用性の高いツールです。洗練された機能を備えたこのマシンは、フォトレジストを効率的かつ確実に処理し、信頼性の高い結果を得ることができます。