中古 SEMITOOL ST-870 #9160073 を販売中

SEMITOOL ST-870フォトレジスト装置は、ウェーハ上の集積回路をエッチングまたはパターン化するために設計された高度で高精度なウェーハ処理装置です。これは、高度なIC製造プロセスで使用され、集積回路の性能に不可欠です。SEMITOOL ST 870は、柔軟性と信頼性を念頭に設計されたバッチプロセス湿式化学システムです。高い精度と再現性により、高度なウエハ加工に最適です。フォトレジストとエッチングのステップを1つまたは複数のウェーハで同時に実行し、精度と再現性で処理します。ST-870には2つの5層プロセスステーションがあり、最大のプロセススループットを実現します。デュアルガントリー設計は、2つのアームの独立した動きを容易にし、ウェーハ処理を独立して実行し、ステーション間を調整することができます。ST 870は、垂直に取り付けられたケミカルポンプとディスペンシングユニットを使用して、加工に使用される化学物質を正確に適用および監視します。内蔵の化学管理マシンは、プロセスのパラメータに関係なく、化学物質の適切な計量を保証します。このツールはまた、より複雑なフォトレジスト処理に対応するために調整可能なレジストトラックハイトを備えています。SEMITOOL ST-870には、コンピュータ制御の熱画像アセットが搭載されており、ウェーハ処理中の正確な温度監視とフィードバック制御が可能です。このモデルは、ウェーハ処理における望ましい再現性と精度のレベルを保証するのに役立ちます。さらに、SEMITOOL ST 870には化学測定装置が組み込まれており、ウェーハ加工時に使用される化学物質を常時監視し最適化することができます。このシステムは保護エンクロージャに囲まれており、ウェーハ処理中に放出される可能性のあるガスや空気中の粒子が含まれています。ST-870は、環境汚染を最小限に抑え、厳しい規制ガイドラインを遵守するように設計されています。さらに、このユニットには、潜在的なエラーまたはプロセス条件外にユーザーに警告するように設計された可聴警告ユニットが装備されています。全体として、ST 870フォトレジストマシンは、優れた精度と再現性を提供する高度なウェーハ加工ツールです。柔軟なアーキテクチャと革新的な機能により、迅速かつ正確なウェーハ処理が可能です。内蔵の安全機能と堅牢な素材により、高度なウェーハ処理のための安全で信頼性の高い資産となります。