中古 SEMITOOL ST 860 #293622249 を販売中

SEMITOOL ST 860は、生産の中断を最小限に抑え、迅速で再現性のある信頼性の高いプロセス結果を提供するように設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、特にLCDやMEMS生産などのハイエンドで大量のアプリケーションや研究開発プロジェクトに適しています。ST 860の基本アーキテクチャには、2ベイ自動トラック、2ウェーハカセット、2シッパーカセット、2つの高性能プロセスチャンバー、2つの高温フラットプレートベークモジュールが含まれています。2つのトラックは、ユニットに埋め込まれた単一のマイクロプロセッサコントローラでサポートされています。これにより、オペレータは標準のWebブラウザから素早く簡単にマシンをプログラムできます。さらに、オプションのスタンドアロン熱制御ツールにより、正確で再現可能な熱処理の結果が保証されます。統合されたモーションアセットと駆動アセットは、フォトレジストのアプリケーションにおいて、これまでにないレベルの精度と再現性を提供するように設計されています。リニアモータ、ボールネジ、リニアエンコーダで構成されており、位置合わせが容易で、スムーズな速度制御が可能な先進のステッピングモータ技術です。これにより、再現可能なプロセス結果だけでなく、開始から終了までのサイクルタイムも短縮できます。この装置の2つの高性能プロセスチャンバーは、一貫した信頼性の高いプロセス結果を保証するように設計されています。どちらのチャンバも3つの異なるサイズの基板を受け入れることができ、高温感受性があり、広範囲の動作温度にわたってより一貫した処理結果を提供します。2つの高温フラットプレートベークモジュールは、高度な温度制御技術を使用して、処理される基板の全面にわたって均一な温度分布を確保します。さらに、SEMITOOL ST 860には、オプションのセンサーフィードバックとモニタリングシステムが含まれており、プロセスパラメータとシステムの状態の両方を継続的に監視できます。これにより、プロセスパラメータの迅速かつ簡単な調整が可能になり、オペレータのエラーのリスクを実質的に排除できます。このユニットは、SEMITOOL SPTSO自動プロセスソフトウェアと完全に互換性があり、広範なバックエンドレポート機能を提供します。ST 860はクリーンルーム環境での使用を想定して設計されており、厳格なISO 9001およびSEMI C002規格に準拠して製造されています。SEMITOOL ST 860は、高度な設計、堅牢な構造、直感的な操作により、最も要求の厳しいフォトレジストアプリケーションのニーズを確実に満たします。