中古 SEMITOOL ST 860 #293604285 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
ST 860
ID: 293604285
ウェーハサイズ: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL ST 860はSEMITOOLによって作り出されるフォトレジストの除去装置です。半導体製造におけるシリコンウェーハのフォトレジストのストリップやクリーンに使用される先進的な半自動式タンクシステムです。このタンクは、ウェーハの前面と背面の両方からフォトレジストを効率的かつ正確に除去するように設計されています。PST 860のタンクは、プリロード、プロセス、リンスの3つのセクションに分かれています。プリロードセクションは、一度に最大6つのウェーハをロードおよび処理するために使用されます。プロセスセクションは独立した温度範囲で動作し、ウェーハのストリップとクリーンのための独自の回転ドラムモジュールが含まれています。温度範囲はウェーハ材料およびプロセスに一致させるために調節することができます。この洗浄ステーションは、ストリッププロセス中にウェーハが完全にきれいであることを確認するために使用されます。ST 860はまた、ユーザーフレンドリーで、複数のカスタムプログラムとデータトラッキング機能を提供するProgrammable Logic Controller (PLC)も備えています。高精度で再現性の高い結果を提供し、ウェーハの手動処理を不要にする自動化を実現します。ユニットはエチャント(化学物質)を使用して、希望の速度でフォトレジストを溶解します。ウェットエッチング、乾燥後のプライムコート、および一般的な除去アプリケーションを処理できます。また、半導体業界の基準を満たしており、過酷な環境条件のために設計されています。SEMITOOL ST 860は、半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト除去のための信頼性の高い、費用対効果の高いソリューションです。幅広いアプリケーションに適しており、その自動化されたプロセスは、最適な結果を達成しながら、手動エラー、手作業、コストを削減します。機械はSEMITOOLのカスタマーサービスおよび耐久性の保証によって支えられます。
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