中古 SEMITOOL ST 840 #9000640 を販売中

SEMITOOL ST 840は、自動化されたウェットエッチウエハ製造アプリケーション用に設計されたフォトレジスト機器です。これは、さらに半導体産業プロセスの前にコーティング、開発、エッチング、洗浄用のウェットエッチングシステム、光源および化学物質で構成されています。フォトレジストユニットは、成膜、エッチング、露光、エッチング後の洗浄など、製造プロセスのさまざまな段階を正確に制御します。これにより、ウェーハは高い精度と均一性で製造されることが保証されます。フォトレジストマシンは、囲まれたウェットエッチツール、光源、ケミカルバスを囲む単一のハウジングで構成されています。最大8個のウェットエッチング・アセットを同時に備え、圧力レギュレータ、エッチング用バルクタンク、ウェハ処理用の回転チャンバーを備えています。光源は強度および波長のために独立して調節可能であり、フォトレジストの望ましい層を取除くためにウェーハを露出するのに使用されています。ケミカルバスは、ウェーハを開発、エッチング、ポストエッチング洗浄するための制御環境を提供します。フォトレジストモデルは、ユーザーが特定の要件を満たすために処理パラメータをカスタマイズできるように設計されています。光源は可変強度と波長に設定でき、エッチング剤、濃度、温度を調整して所望のエッチングプロファイルを作成できます。さらに、クリーニングプロセスは、スプレー、スクラブまたはリンス操作を含むようにカスタマイズすることができ、ウェーハ表面は自動光学機器で監視することができます。ST 840は、正確で一貫したウェーハ製造結果を提供するように設計された堅牢で信頼性の高いマシンです。多種多様な処理ニーズに対応できるよう、豊富な機能を備えて設計されています。フォトレジストシステムは、半導体、医療機器、マイクロエレクトロニクスなどの幅広い用途に最適です。